Medidor de vida útil del probador de subvida de flujo minoritario con guía fotoeléctrica de alta frecuencia Lt-100C

LT-100C Probador de Vida Útil de Portadores Minoritarios Fotoconductivos de Alta Frecuencia

El probador de vida útil LT-100C es un producto mejorado del LT-1 (modelo básico). Al medir monocristales de silicio de baja resistencia, adopta un nuevo concepto, lo que aumenta la relación señal/ruido en decenas a cientos de veces, y extiende el límite inferior de la medición de la vida útil del monocristal de silicio desde ρ＞3Ω·cm a ρ≥0.3Ω·cm. Además de medir monocristales de alta resistencia, también puede cumplir con los requisitos de prueba de obleas de silicio de grado para células solares (las obleas desnudas). El instrumento puede medir tanto bloques de silicio como obleas de silicio (las obleas de silicio se pueden colocar en un soporte para la medición).

Para leer directamente el valor de vida útil, el instrumento ha escrito un software especial para almacenarlo en el osciloscopio de almacenamiento digital. El software está escrito de acuerdo con los principios básicos de la medición de la vida útil de los portadores minoritarios y adopta varios métodos de lectura recomendados en las normas internacionales (MF28 y MF1535).

El instrumento amplía el rango medible de la vida útil de los portadores minoritarios de los cristales. Además de estar equipado con un tubo emisor de luz infrarroja con una longitud de onda de 1,07 μm, también está equipado con un láser infrarrojo con una longitud de onda de 0,904-0,905 μm y una intensidad de luz más fuerte, lo que reduce la persistencia de la fuente de luz, haciendo que la resistividad medible del cristal (superficie pulida) sea tan baja como 0,3 Ω·cm, y extendiendo el límite inferior de la vida útil medible a 0,25 μs.

El medidor de vida LT-100C está equipado con dos etapas de electrodos de fuente de luz, una con una longitud de onda de 1,07 μm, adecuada para medir la vida volumétrica de bloques o varillas de silicio monocristalino; la otra con una longitud de onda de 0,904~0,905 μm, adecuada para medir la vida relativa de obleas de silicio solar cortadas o pulidas, que es similar a las condiciones de medición del método de reflexión de microondas, por lo que los valores medidos también son más cercanos.

El probador de vida útil de portadores minoritarios fotoconductores de alta frecuencia LT-100C está diseñado y fabricado de acuerdo con los estándares SEMI (MF28-0707, MF1535-0707) de la Organización Internacional para Equipos y Materiales Semiconductores y el estándar nacional GB/T1553-1997. Este equipo adopta el método de medición de atenuación fotoconductora de alta frecuencia y es adecuado para la medición de la vida útil de portadores minoritarios de monocristales de silicio y germanio. Dado que no hay un requisito estricto para la forma del bloque de muestra, se utiliza ampliamente en mediciones de rutina en fábricas. La medición de la vida útil puede reflejar sensiblemente la contaminación por metales pesados y los defectos de los monocristales, y es un elemento de detección importante para la calidad de los monocristales.

(1) Rango de medición del instrumento:

Rango de medición de la vida útil de los portadores minoritarios:0.25μS～10 ms; Límite inferior de resistividad de la muestra de cristal (superficie pulida)≥0.3Ω·cm, aún no se ha encontrado el límite superior de la medición de resistividad.

modelo:nortetipo oPAGTipo monocristalino o policristalino fundido.

(2) Generador de pulsos ópticos

Frecuencia de repetición＞15De segunda categoría/Sancho de pulso≥10μs

Fuente de luz infrarroja longitud de onda larga:1.06～1.08μmCorriente de pulso:5A～16A

Fuente de luz infrarroja longitud de onda corta:0.904～0.905μmCorriente de pulso:5A～16A

(3) Fuente de alta frecuencia

frecuencia:30MHZBaja impedancia de salida Potencia de salida＞1W

(4) Amplificador y detector

Respuesta de Frecuencia:2 Hz～2MHZ

Aumento:30veces (aproximadamente)

(5)La etapa de electrodo de fuente de luz configurada en el instrumento puede medir la vida útil de monocristales colocados verticalmente o la sección transversal de monocristales colocados verticalmente. La configuración añade una plataforma elevadora para medir muestras de baja resistencia y una etapa de electrodo de fuente de luz equipada con electrodos especiales en forma de resorte.

(6) Método de lectura: Puede elegir utilizar un sistema de software dedicado para pruebas de vida útil de portadores o un osciloscopio digital dedicado para la lectura. La operación de prueba del sistema de software es sencilla. Simplemente haga clic en "medir" para guardar automáticamente los datos y la forma de onda de atenuación del punto de prueba correspondiente en la base de datos. Puede consultar datos históricos y exportar datos históricos.

Interfaz de medición del sistema de prueba de vida útil de portadores de un solo punto KSM