ZJ-10 Tubo de Manómetro de Vacío Piezorresistivo Material de Acero Inoxidable Manómetro de Vacío Piezorresistivo Lleno de Aceite Tubo de Manómetro de Vacío Piezorresistivo

Descripción del Producto

Este tipo de manómetro utiliza sensores de presión de silicio difuso como componentes sensibles a la presión con diversas estructuras de empaque de tubo estándar o no estándar. El chip de silicio difuso dentro del sensor se empaqueta mediante un diafragma y una cavidad hechos de acero inoxidable 316L. Se llena menos de 0.5 cc de aceite de silicona en la cavidad como medio conductor. El circuito de resistencia de compensación de temperatura en el sustrato cerámico híbrido del sensor proporciona compensación de temperatura de 0~80℃, de modo que el error de temperatura del punto cero y la escala completa se controla dentro de ±0.5%. La placa de circuito desarrollada garantiza el rendimiento y la apariencia compacta del manómetro.

Parámetros técnicos

1. Rango de medición: 50 kPa～50 Pa

100kpa～10pa

150kpa～150pa

200Kpa～200pa

2. Tipo de elemento sensible: sensor de presión de silicio difuso

3. Dispersión: ±0.15% (no linealidad + histéresis + repetibilidad)

4. Rango de temperatura de operación: -40~+80℃

5. Estabilidad a largo plazo: ±0.3% de la escala completa/año

6. Material de sellado del empaque del cuerpo del tubo: caucho de flúor

6. Rango de sobrepresión admisible: 2.0×105Pa

7. Forma de conexión de vacío y temperatura de horneado: Tubo recto de Φ15.5±0.1