Forno a Vácuo de Gás Hasuc Hmds/Sistema de Pré-Tratamento de Wafer a Gás Hmds/Máquina de Revestimento de Chip

Recursos do forno a vácuo HMDS:

1. O revestimento externo da máquina é feito de aço inoxidável 316L de grau médico e o tanque interno é feito de aço inoxidável 316L. O aquecedor é distribuído uniformemente ao redor da parede externa do tanque interno, e os acessórios elétricos e dispositivos inflamáveis ​​e explosivos ficam dentro do tanque interno. As portas de vidro duplo temperadas e elásticas permitem uma visão clara dos objetos do estúdio.
2. O aperto da porta da caixa pode ser ajustado e a vedação da porta de borracha de silicone formada integralmente garante alto vácuo na caixa.
3. Controlador de temperatura do microcomputador, com display digital duplo para definir e medir a temperatura e função de autoajuste PID, o controle de temperatura é confiável.

4. O sistema de controle da tela de toque é equipado com o módulo Japan Mitsubishi PLC, que permite aos usuários alterar o programa, a temperatura, o grau de vácuo e o tempo de cada programa de acordo com as diferentes condições do processo.
5. Projeto automático de sucção e adição selado a gás HMDS, o desempenho de vedação da caixa de vácuo é bom, garantindo que não haja preocupação com vazamento de gás HMDS.

6. Todo o sistema é feito de materiais sem geração de poeira e é adequado para ambiente de purificação de sala de fotolitografia Classe 100.

Parâmetros do produto:

Número de produto:HMDS-6210 HMDSSistema de pré-tratamento
Tensão de alimentação: CA 380V±10/50Hz±2

Potência de entrada: 4000W

Faixa de controle de temperatura: temperatura ambiente +10℃-250℃

Resolução de temperatura: 0,1 ℃

Flutuação de temperatura: ± 0,5 ℃

Grau de vácuo: 133Pa

Volume: 210L

Tamanho do estúdio (mm): 560*640*600

Dimensões totais (mm): 720*820*1750

Rack de carregamento: 3 peças

Unidade de tempo: minutos

Bomba de vácuo: marca alemã, bomba de óleo de palheta rotativa de série dupla Leybold "DC", com alto limite de vácuo, baixo ruído e operação estável.
Tubo de ligação: tubo corrugado em aço inoxidável, completamente vedado para ligação da bomba de vácuo ao forno. .

HMDSNecessidade de sistema de pré-processamento:

No processo de produção de semicondutores, a fotolitografia é um importante elo do processo para transferência de padrões de circuitos integrados. A qualidade do revestimento com cola afeta diretamente a qualidade da fotolitografia, e o processo de revestimento com cola também é particularmente importante. A maioria dos fotorresistentes no processo de revestimento fotolitográfico são hidrofóbicos, enquanto os grupos hidroxila e as moléculas de água residual na superfície do wafer de silício são hidrofílicos, o que resulta em má adesão entre o fotorresistente e o wafer de silício, especialmente o resist positivo. Quando o revelador entra na conexão entre o fotorresistente e o wafer de silício, é fácil causar barras flutuantes, cola flutuante, etc., levando à falha na transferência do padrão de fotolitografia. Ao mesmo tempo, o ataque úmido é propenso à corrosão lateral. O agente de pegajosidade HMDS (hexametildissilazano) pode melhorar muito bem esta situação. Depois que o HMDS é aplicado na superfície do wafer de silício, ele pode reagir para formar um composto com siloxano como corpo principal quando aquecido em um forno. Ele altera com sucesso a superfície do wafer de silício de hidrofílico para hidrofóbico, e seu grupo hidrofóbico pode combinar bem com o fotorresiste e atuar como um agente de acoplamento.

HMDS-6000Princípio do sistema de pré-tratamento em série:

O sistema de pré-tratamento HMDS-6000 pode revestir uniformemente uma camada de HMDS na superfície de wafers e substratos de silício, ajustando a temperatura de trabalho, tempo de processamento, tempo de retenção e outros parâmetros do processo de pré-tratamento HMDS no forno, e calcular o ângulo de contato de o wafer de silício após o tratamento com HMDS, a quantidade de fotorresistente usado e a adesão entre o fotorresistente e o wafer de silício.

HMDS-6000O fluxo de trabalho geral do sistema de pré-processamento da série:

Determine a temperatura de operação do forno. O procedimento típico de pré-tratamento é: ligar a bomba de vácuo para evacuar. Depois que a verdadeira solidez na cavidade atingir um certo grau de alto vácuo, comece a encher com nitrogênio. Depois de encher até um certo grau de baixo vácuo, inicie novamente o processo de aspiração e enchimento com nitrogênio. Depois de atingir o número definido de preenchimentos de nitrogênio, comece a mantê-lo por um período de tempo para aquecer totalmente o wafer de silício e reduzir a umidade na superfície do wafer de silício. Em seguida, comece a aspirar novamente e preencha o gás HMDS. Após atingir o tempo definido, pare de encher o líquido HMDS e entre no estágio de retenção para permitir que o wafer de silício reaja totalmente com o HMDS. Após o tempo de espera definido, a aspiração recomeça. Encha com nitrogênio para completar todo o processo de operação. O mecanismo de reação entre HMDS e wafer de silício é mostrado na figura: Aquecendo a 100 ℃ -200 ℃, a umidade na superfície do wafer de silício é removida e então o HMDS reage com o OH na superfície para gerar éter de silício em a superfície da pastilha de silício, eliminando a ligação de hidrogênio, fazendo com que a propriedade Superfícies se tornem superfícies não sexuais. Toda a reação continua até que o impedimento estérico (o grupo trimetilsilil maior) impeça a reação adicional.

Emissões de escape, etc.:O excesso de vapor HMDS (gás de escape) será extraído pela bomba de vácuo e descarregado no tubo de coleta de gases de escape. É necessário tratamento especial quando não há tubulação de coleta de gases residuais.