A bomba de vácuo é um importante equipamento de apoio à filtração para melhorar a eficiência da filtração e aumentar o efeito de desgaseificação. Para garantir que o meio filtrante não seja contaminado, geralmente é usada uma bomba de vácuo de diafragma isenta de óleo. Este tipo de bomba forma vácuo através do movimento alternativo do diafragma de borracha e sua pressão de vácuo é geralmente em torno de 0,08Mpa (estágio único). A chave para melhorar a velocidade de filtração é o volume de exaustão por unidade de tempo e o índice de fluxo da bomba de vácuo, que é particularmente proeminente quando o volume de filtração é grande e a viscosidade média é alta, e as partículas bloqueiam a membrana do filtro.